[发明专利]双向可调的热光移相器及其网络结构在审
| 申请号： | 202011100854.9 | 申请日： | 2020-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN114371560A | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 刘胜平;田野;李强;赵洋;王玮 | 申请（专利权）人： | 联合微电子中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 贺妮妮 |
| 地址： | 401332 重庆市沙坪*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明提供一种双向可调的热光移相器及其网络结构，该热光移相器包括：至少两个光波导结构、至少两个温度调节单元、第一电学端口及第二电学端口，温度调节单元一一对应设置在光波导结构上方或者两侧；温度调节单元包括：串接的PN结及金属加热单元；至少一个温度调节单元中的PN结与其余温度调节单元中的PN结反向设置且共接于第一电学端口，所有温度调节单元中的金属加热单元共接于第二电学端口。本发明的双向可调的热光移相器及其网络结构可以在不增加电学端口的情况下实现光波导结构相位差的双向调节，从而有效降低热光移相器的功耗；另外，大大减少了基于该双向可调的热光移相器的网络结构的电学端口数目，同时提高工艺容差。 | ||
| 搜索关键词： | 双向 可调 移相器 及其 网络 结构 | ||
【主权项】：
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