[发明专利]弱耦合式MEMS加速度传感器有效
| 申请号： | 202011100965.X | 申请日： | 2020-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN112230017B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 邹旭东;汪政;熊兴崟;王坤锋;李志天;杨伍昊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院空天信息创新研究院 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种弱耦合式MEMS加速度传感器，包括N个锚点，用于提供锚固连接点；敏感质量块；M个支撑结构，与M个锚点连接，用于支撑敏感质量块；第一谐振器，包括第一谐振梁、第一驱动电极和第一检测电极，第一谐振梁一端通过杠杆结构与敏感质量块连接，第一驱动电极用于给第一谐振梁激振，第一检测电极用于检测第一谐振梁的振幅；第二谐振器，包括第二谐振梁、第二驱动电极和第二检测电极，第二谐振梁的一端与一个锚点连接，第二谐振梁的另一端通过耦合结构与第一谐振梁的另一端连接，第二驱动电极用于给第二谐振梁激振，第二检测电极用于检测第二谐振梁的振幅；第一谐振器的质量小于第二谐振器的质量，第一谐振器与第二谐振器的本征频率相等。 | ||
| 搜索关键词： | 耦合 mems 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
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