[发明专利]MEMS换能器、MEMS器件和麦克风组件有效
| 申请号： | 202011103002.5 | 申请日： | 2020-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN112689228B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | V·纳德瑞恩;M·佩德森;彼得·洛佩特 | 申请（专利权）人： | 美商楼氏电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R19/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王青芝;王小东 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及MEMS换能器、MEMS器件和麦克风组件。一种MEMS换能器，该MEMS换能器包括换能器基板、对电极以及振膜。对电极联接至换能器基板。振膜大致平行于对电极定向，并且与对电极间隔开以形成间隙。MEMS换能器的后腔容积是位于对电极与振膜之间的封闭容积。在MEMS换能器的音频频带的上限处，对电极与振膜之间的间隙的高度小于后腔容积内的热边界层厚度的两倍。 | ||
| 搜索关键词： | mems 换能器 器件 麦克风 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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