[发明专利]空间6-RRRR柔顺并联纳米定位平台

摘要

本发明涉及空间6‑RRRR柔顺并联纳米定位平台，包括第一固定基座、第二固定基座、末端执行器、六条运动支链、六支电容传感器和六支压电驱动器；运动支链包括安装于第一固定基座的三条第一运动支链和安装于第二固定基座的三条第二运动支链；第一运动支链与第二运动支链均包括四个由柔性铰链构成的柔性转动副，柔性铰链之间通过柔性杆件连接；第一运动支链和第二运动支链均与末端执行器连接。采用多条运动支链全并联方案，两两之间相互独立地传递纳米级位移，使得末端执行器在刚度、固有频率、速度、精度、耦合特性、抵抗变形能力等具有优势，实现更优异的性能图谱；六条运动支链组成单元相同，结构工整对称，易于精准建模。