[发明专利]一种铜锌锡硒(CZTSe)或铜锌锡硫(CZTS)四元靶材的制备方法在审
申请号: | 202011108338.0 | 申请日: | 2020-10-20 |
公开(公告)号: | CN112210762A | 公开(公告)日: | 2021-01-12 |
发明(设计)人: | 容构华;沈江威;刘鹏;程康;张宁 | 申请(专利权)人: | 北京圣阳科技发展有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/06 |
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地址: | 100088 北京市海淀区中关*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种铜锌锡硒(CZTSe)或铜锌锡硫(CZTS)四元靶材的制备方法。所述方法包含以下步骤:(1)使用Cu颗粒、Sn颗粒、Zn颗粒、Se颗粒或者S粉体按比例称量放置于石英管内;(2)将石英管抽真空密封后置于热处理炉中,由室温升温至高温并保温一段时间,制成CZTSe或CZTS化合物块体;(3)将块体破碎制成粒径为80微米以下的粉体;(4)把粉体置于石墨模具中热压烧结制成CZTSe或CZTS四元靶材。本方法原料易于获取,价格低廉,制备出的靶材成分与物相均匀,致密度高,工艺简单且容易控制,适于批量化生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 铜锌锡硒 cztse 铜锌锡硫 czts 四元靶材 制备 方法 | ||
【主权项】:
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