[发明专利]一种组合式保温毡盘及保温毡盘结构件在审
| 申请号： | 202011109645.0 | 申请日： | 2020-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN112080797A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36;C30B29/40 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 桑林艳 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体辅助工具技术领域，具体为一种组合式保温毡盘及保温毡盘结构件，是针对现有保温毡开孔结构在使用中存在精度不准，定位偏差的缺陷所提出，组合式保温毡盘，包括环形保温毡组和可拆卸地安装在环形保温毡组上的实心保温毡，所述实心保温毡转动安装在环形保温毡组的中心开孔内，且实心保温毡与环形保温毡组装配后整体呈实心圆盘状；保温毡盘结构件由组合式保温毡盘层叠设置而成，且每层组合式保温毡盘层的开孔大小可调。本发明根据需要可快速调节保温毡盘开孔的大小，实现开孔精确、定位准确的效果，便于对温场结构进行调整，以探究合适的温度梯度对长晶的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组合式 保温 盘结 构件 | ||
【主权项】：
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