[发明专利]一种器件转移设备及其制备方法、器件转移方法有效
| 申请号： | 202011110589.2 | 申请日： | 2020-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN112992759B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 李强;向毅 | 申请（专利权）人： | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/67;H01L25/075 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 李发兵 |
| 地址： | 402760 重庆市璧*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种器件转移设备及其制备方法、器件转移方法。器件转移设备中设置了容纳腔室来容纳固液相变材料，每个容纳腔室都有与之对应的电热转换件，利用电热转换件将电能转换为热能，向固液相变材料提供热量，使得固液相变材料熔化，流至与容纳腔室连通的吸嘴，同时又通过通气道在容纳腔室内形成负压，避免液体从吸嘴口滴落，从而实现了通过液体张力进行器件吸附的效果，摒弃了真空器件吸附方案，打破了真空管尺寸对被转移器件尺寸的限制，扩大了器件转移设备的应用场景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 器件 转移 设备 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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