[发明专利]可由流体致动并且可特别用于激活吸入器装置的防水开关在审
| 申请号： | 202011117403.6 | 申请日： | 2020-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN112674390A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | E·杜奇;F·塞利尼;L·巴尔多 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | A24F40/40 | 分类号： | A24F40/40;A24F40/46;A24F40/50;A24F40/51 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的实施例涉及可由流体致动并且可特别用于激活吸入器装置的防水开关。一种MEMS开关可由流体被致动，并且包括：压电压力传感器，检测生成负压的流体移动。压电压力传感器半导体材料的芯片和敏感膜形成，该压电压力传感器具有贯通腔，敏感膜在贯通腔之上延伸并且具有第一表面和第二表面。压电压力传感器被安装在具有贯通孔的板的面上，使得贯通腔覆盖贯通孔，并且贯通腔与贯通孔流体连接。板具有固定结构，固定结构使得板能够被固定在使第一空间和第二空间彼此分开的分隔壁的开口中。板被布置成使得敏感膜的第一表面面向第一空间，并且敏感膜的第二表面面向第二空间。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 并且 特别 用于 激活 吸入 装置 防水 开关 | ||
【主权项】：
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