[发明专利]表面等离激元共振传感测量方法、装置及系统有效
申请号: | 202011118587.8 | 申请日: | 2020-10-19 |
公开(公告)号: | CN112525859B | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | 王雪;路鑫超;刘虹遥;赵阳;孙旭晴;黄成军 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G01N21/41 | 分类号: | G01N21/41;G01B11/06 |
代理公司: | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人: | 房德权 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种表面等离激元共振传感测量方法、装置及系统,将偏振激光光束聚焦到镀金属膜透明基底上激发表面等离激元与目标介质发生相互作用,形成的反射光场在成像系统后焦平面位置处的成像,目标介质包含待测样品,在此基础上,通过获取待测样品对应的反射光空间频域图像,若目标介质除了包含待测样品以外,还包含其他介质,则基于反射光空间频域图像,得到待测样品对应的目标反射光空间频域谱,进而基于目标反射光空间频域谱以及预设对应关系,确定待测样品的折射率以及待测样品对应的厚度,有效地实现了目标介质为非均匀折射率的多层介质的情况下,样品折射率以及对应厚度的测量。 | ||
搜索关键词: | 表面 离激元 共振 传感 测量方法 装置 系统 | ||
【主权项】:
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