[发明专利]一种膜层结合力的测试方法有效
| 申请号： | 202011119341.2 | 申请日： | 2020-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN112362471B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 王超;饶少凯;徐齐 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N3/08 | 分类号： | G01N3/08;G01N23/04;G01N23/20 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 高洁;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种膜层结合力的测试方法，包括：采用压头压向测试样品的选定位置，在所述选定位置处形成压痕；增大施加在所述压头上的载荷以加深所述压痕的深度，并获得所述载荷与所述深度的对应关系变化曲线，直至所述曲线上包含至少两个所述压痕的深度发生突变的点；根据所述曲线确定与至少两个所述点相对应的至少两个载荷；将所述测试样品制备成满足以下条件的透射电镜检测样品：在采用透射电镜观测所述透射电镜检测样品时能够观测到所述压痕的横截面的微观形貌；采用透射电镜观测所述压痕，根据所述微观形貌确定所述至少两个载荷分别对应的膜层损伤类型。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结合 测试 方法 | ||
【主权项】：
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