[发明专利]波导参数的提取方法及系统、虚拟晶圆的建立方法及系统有效
| 申请号： | 202011119401.0 | 申请日： | 2020-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN112255786B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 于济瑶;曹国威;冯俊波 | 申请（专利权）人： | 联合微电子中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G01M11/02;G01R23/165;G06F17/16 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张振军 |
| 地址： | 401332 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 一种波导参数的提取方法及系统、虚拟晶圆的建立方法及系统，所述波导参数的提取方法包括：提供晶圆，所述晶圆上具有共振器，所述共振器包括：环形波导和环外波导，所述环外波导位于所述环形波导以外且所述环外波导的至少一部分与所述环形波导的至少一部分具有平行关系，所述共振器具有预设的参数矩阵；确定所述共振器的特征参数；根据所述参数矩阵和所述特征参数，计算所述共振器中波导的实际物理参数，所述波导包括所述环形波导和环外波导，所述实际物理参数包括环形波导和环外波导之间的间距。通过本发明的方案，可以准确确定制造完成后的器件中波导的物理参数。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 参数 提取 方法 系统 虚拟 建立 | ||
【主权项】：
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