[发明专利]研磨头清洗装置在审
| 申请号： | 202011120474.1 | 申请日： | 2020-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN112371614A | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 倪震威;马成斌;季文明;蒋策策;方瑞鸿 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00;B24B37/10;B24B37/34;B24B49/00;B24B55/06 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种研磨头清洗装置，包括：若干个清洗支路，每个所述清洗支路包括：喷雾单元、管道、自动阀门、传感器、控制单元和清洗液供应单元，所述传感器检测到所述研磨头的侧面是否存有附着物，向所述控制单元输出反馈信号，基于所述反馈信号，所述控制单元控制所述自动阀门开启或闭合，以控制所述喷雾单元启动与停止。所述喷雾单元启动时，所述喷雾单元向所述研磨头的侧面喷射清洗液。清洗液对所述附着物产生物理化学作用，使得所述附着物从所述研磨头的侧面掉落。避免在研磨头在上下料期间或其自身运动时，所述附着物掉落在研磨垫上，继而在所述晶圆上造成划痕或附着颗粒，最终影响晶圆制品的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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