[发明专利]粒子辐射设备和光学显微镜以及用于操作其的方法在审
| 申请号： | 202011123457.3 | 申请日： | 2020-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN112750674A | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | A.施蒙兹;G.沃特;S.希勒 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/28;G02B21/06;G02B21/28;G02B21/30;G02B21/26;G01N23/2251;H02P8/00;H02P8/40;H02P6/00;H02P6/04;H02P29/00;H02P5/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 侯宇 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及粒子辐射设备和光学显微镜及用于操作其的方法。方法包括改变物体的第一温度，物体布置在物体接收装置处，物体接收装置能通过至少一个用电源电流工作的电机移动。通过改变物体的第一温度，将物体接收装置的第二温度从第一温度值改变到第二温度值。方法还包括：将电机的电源电流从第一电流值改变到第二电流值，电源电流设计为用于固定物体接收装置；及基于电机产生的热量将物体接收装置的温度从第二温度值改变到第三温度值，热量通过电源电流的第二电流值实现且送至物体接收装置。TOT1‑15℃≤TOT3≤TOT1+15℃成立，其中TOT1为物体接收装置的第一温度值且TOT3为物体接收装置的第三温度值。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子 辐射 设备 光学 显微镜 以及 用于 操作 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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