[发明专利]一种单色渐变膜及其制备方法、光罩

摘要

本申请公开了一种单色渐变膜及其制备方法，该方法包括提供一光罩，所述光罩上设有预设图案，预设图案包括多个面积不等的遮光点，遮光点在预设方向上呈连续渐变趋势；获得包括基底和干膜光阻的预处理基底，干膜光阻对应光罩上遮光点的间隙区域；在预处理基底的上表面形成厚度一致的薄膜，然后去除干膜光阻，得到单色渐变膜。本申请通过提供预设有预设图案光罩，以干膜光阻为介质，使基底上表面形成与预设图案一致的薄膜，薄膜由与遮光点面积一样的小薄膜区域组成，小薄膜区域的面积在预设方向上呈连续渐变趋势，从而产生渐变效果，又因为薄膜厚度一致，颜色是单一的，所以得到颜色单一且渐变的单色渐变膜。本申请还提供一种光罩。