[发明专利]孤立图形设计方法、装置、存储介质及计算机设备在审

专利信息
申请号: 202011126246.5 申请日: 2020-10-20
公开(公告)号: CN112672503A 公开(公告)日: 2021-04-16
发明(设计)人: 林荣富;唐有军;关志锋 申请(专利权)人: 珠海杰赛科技有限公司;广州杰赛科技股份有限公司
主分类号: H05K3/00 分类号: H05K3/00
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 张志辉
地址: 519000 广东省珠海*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种孤立图形设计方法、装置、存储介质及计算机设备。获取孤立图形的线路图案;获取孤立图形的线路图案;根据孤立图形的线路图案预设计出辅助图形;根据正片工艺对所述孤立图形和所述辅助图形进行图形转移、电镀和蚀刻,根据负片工艺对所述孤立图形和所述辅助图形进行图形转移和蚀刻,完成所述孤立图形的设计;通过设计辅助图形,不仅能够避免因图形孤立引起的正、负片工艺中线宽超差问题,还能够避免正片工艺中铜厚超标问题。
搜索关键词: 孤立 图形 设计 方法 装置 存储 介质 计算机 设备
【主权项】:
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