[发明专利]全自动快速溅射镀膜生产设备有效
| 申请号： | 202011126540.6 | 申请日： | 2020-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN112481588B | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 潘振强;岑东阳 | 申请（专利权）人： | 广东振华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535 | 代理人： | 梁田 |
| 地址： | 526020 广东省肇庆市端*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种全自动快速溅射镀膜生产设备，包括：底架、进料粗抽真空室、持续高真空室、镀膜真空室、多工位旋转平台、和用于将工件放入或取出所述进料粗抽真空室的全自动取料装置，持续高真空室安装在底架上，所述进料粗抽真空室、镀膜真空室均设置于持续高真空室的顶盖上，顶盖上开设有与进料粗抽真空室连通的第一开口、以及与镀膜真空室连通的第二开口。本发明可通过体积小的进料粗抽真空室实现快速抽气，使得工件从进料粗抽真空室移动到持续高真空室后，可短时间内再移动到镀膜真空室进行镀膜，因而可大大减少真空镀膜的抽气时间，减低持续高真空室的杂气浓度以及维持高真空的状态，减短了整个生产周期。 | ||
| 搜索关键词： | 全自动 快速 溅射 镀膜 生产 设备 | ||
【主权项】：
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