[发明专利]微结构的生成方法及表面具有微结构的产品在审
申请号: | 202011127921.6 | 申请日: | 2020-10-20 |
公开(公告)号: | CN112250312A | 公开(公告)日: | 2021-01-22 |
发明(设计)人: | 李磊;刘风雷;李其凡;王琳;高雅楠;蒋晓 | 申请(专利权)人: | 浙江水晶光电科技股份有限公司 |
主分类号: | C03C15/00 | 分类号: | C03C15/00;C04B41/53;G03F7/00 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 衡滔 |
地址: | 318000 浙江省台州市椒*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本申请提供一种微结构的生成方法及表面具有微结构的产品,方法包括:根据表面具有微结构的第一模板,在基板上形成具有微结构的掩膜层,其中,微结构包含具有至少一项结构特征的多个单体结构,结构特征为:多个单体结构尺寸不一,或者,多个单体结构非均匀排布;对具有掩膜层的基板进行等离子刻蚀,以将掩膜层包含的微结构复刻到基板的本体上。微结构可以保证产品的抗眩光效果,而采用将第一模板具有的微结构复刻到基板的掩膜层,再通过等离子刻蚀的方式将掩膜层的微结构复刻到基板的本体上,可以提升产品的性能、精度和可靠性。 | ||
搜索关键词: | 微结构 生成 方法 表面 具有 产品 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江水晶光电科技股份有限公司,未经浙江水晶光电科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202011127921.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。