[发明专利]硅芯制备系统及制备方法有效
| 申请号： | 202011128486.9 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN112251807B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 杨明财;丁小海;宗冰;蔡延国;王体虎 | 申请（专利权）人： | 亚洲硅业（青海）股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/14;C30B33/02;C01B33/03;C01B33/035 |
| 代理公司： | 广州恒成智道知识产权代理有限公司 44575 | 代理人： | 刘挺 |
| 地址： | 810007 青海*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅芯制备系统及制备方法，属于多晶硅生产技术领域，尤其涉及硅芯制备系统及制备方法技术领域。本发明包括混合气供应单元、混合气提纯单元、混合气纯度检测单元、还原炉、硅芯制备单元以及控制系统。相对于现有技术，本发明通过设置混合气提纯单元和混合气纯度检测单元，使混合气进行提纯以及纯度检测，从而提高了多晶硅棒的纯度；同时本发明通过在还原炉设置红外摄像机和控制系统，使控制系统能通过红外摄像机实时获取硅棒表面温度、硅棒直径以及硅棒表面粗糙度，从而使还原炉能根据硅棒表面温度、硅棒直径以及硅棒表面粗糙度，调整还原炉内气相沉积反应的温度、通入的电流大小、混合气中含硅气体和氢气的混合比例以及混合气通气量。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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