[发明专利]分割装置和分割方法在审
| 申请号： | 202011130648.2 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN112793013A | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 西尾仁孝;留井直子 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业株式会社 |
| 主分类号： | B28D1/22 | 分类号： | B28D1/22;B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 袁波;刘继富 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够容易且良好地分割基板的分割装置和分割方法。本发明的分割装置(1)，将第一面(101)形成有规定的刻划线(L1、L2)、第二面(102)被粘贴在膜片(110)的基板(100)沿着刻划线分割，具有：腔体(20)，其具有盖部(300)和主体部(200)，以隔着膜片(110)形成第一面(101)侧的第一室(21)和第二面(102)侧的第二室(22)的方式，用盖部(300)和主体部(200)保持基板(100)；压力调节部(400)，其分别单独地调节第一室(21)和第二室(22)的压力，将基板(100)维持成规定的姿态；分割机构(30)，其沿着刻划线(L1、L2)分割基板(100)，分割机构(30)配置在第二室(22)，一边沿着基板(100)的第二面(102)移动一边向第一室(21)侧上推基板(100)。 | ||
| 搜索关键词： | 分割 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星钻石工业株式会社，未经三星钻石工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011130648.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
