[发明专利]等离子源在审
| 申请号： | 202011131198.9 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN112702829A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 江部明宪 | 申请（专利权）人： | EMD株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟 |
| 地址： | 日本滋贺县*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种感应耦合型的等离子源，其具有构造简易、且可抑制装置所需成本的天线的冷却机构。等离子源(10)是于真空容器(21)内生成等离子的装置，其具备设于真空容器(21)的壁(211)的框(天线固定框(12))、及固定于上述框内的面状的天线(11)。由于天线(11)的周围被上述框包围，故天线(11)所产生的热自其周围流出至框，进而自框流出至真空容器，因此高效地冷却。因此，无需使用液体或气体的冷媒，可使构造简化，且无需冷媒的温度管理装置或循环装置，因此可抑制装置所需的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 | ||
【主权项】：
暂无信息
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