[发明专利]一种在红外及太赫兹宽频带的探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种在红外及太赫兹宽频带的探测器，所述探测器包括衬底、石墨烯异质结沟道层、源极金属天线电极层、漏极金属电极层、栅极绝缘层和栅极金属天线电极层；其中，所述石墨烯异质结沟道层于所述衬底上，所述栅极绝缘层覆盖在所述石墨烯异质结沟道层之上，部分或全部所述源极金属天线电极层和漏极金属电极层覆盖在所述石墨烯异质结沟道层两端，所述栅极金属天线电极层引出线形成在部分所述栅极绝缘层上。本发明还公开了上述探测器的制备方法。本发明结合了特殊的天线设计以及使用了电学特性优异的石墨烯和二维材料形成的异质结，提高探测器对红外及太赫兹辐射的吸收率。