[发明专利]一种氮化物单晶生长装置及方法有效
| 申请号： | 202011133464.1 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN112430848B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 王智勇;黄瑞;兰天;李颖 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B15/34;C30B15/14;C30B15/20;C30B15/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 郑朝然 |
| 地址： | 100022 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种氮化物单晶生长装置及方法，包括：坩埚位于反应室内，加热器位于坩埚外表面，每一单晶生长模块位于坩埚内，坩埚用于放置目标金属熔体，第一电极位于所述坩埚内；对于任一单晶生长模块，导模板位于所述坩埚内，籽晶夹持器的下端与籽晶杆的上端连接，籽晶杆的下端与目标氮化物籽晶的上端连接，目标氮化物籽晶的下端位于导模板的上方，第二电极位于籽晶杆的两侧；第一电极与目标电源的负极连接，第二电极与所述目标电源的正极连接。本发明实施例通过施加电场和导模板相结合的方式，实现了在目标氮化物籽晶上生长目标氮化物单晶的功能，这种方式可以拉制出大尺寸单晶。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化物 生长 装置 方法 | ||
【主权项】：
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