[发明专利]一种花状二氧化硅磨粒的制备方法在审
申请号: | 202011134849.X | 申请日: | 2020-10-21 |
公开(公告)号: | CN112209391A | 公开(公告)日: | 2021-01-12 |
发明(设计)人: | 雷红;徐磊;雷逸凡;杨小强 | 申请(专利权)人: | 上海胶束化工有限公司 |
主分类号: | C01B33/18 | 分类号: | C01B33/18;B82Y40/00;C09K3/14 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 刘晓明 |
地址: | 200801 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种花状二氧化硅纳米磨粒的制备方法及应用。花状二氧化硅纳米磨粒为一种形貌极不规则的二氧化硅纳米颗粒,其制备方法为,利用正硅酸四乙酯于油包水体系内小水滴表面的不规则水解缩合断裂制备花状晶种,以及水包油体系内晶种在硅酸缩合生长时的不对称,得到花状二氧化硅纳米磨粒。与常规球形二氧化硅磨粒相比,本发明花状二氧化硅纳米磨粒对蓝宝石晶片的材料去除率提高了117%,并可有效降低抛光后表面粗糙度。 | ||
搜索关键词: | 种花 二氧化硅 制备 方法 | ||
【主权项】:
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