[发明专利]一种MEMS传感器系统及其使用方法在审
| 申请号： | 202011135327.1 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN112234987A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 李宗伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | H03M1/12 | 分类号： | H03M1/12 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 梁凯 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS传感器系统，包括：MEMS传感器；前置放大器用于将MEMS传感器输出的电荷量转化为第一电压信号输出；前置放大器包括第一运算放大器，以及并联在第一运算放大器的负向输入端与输出端之间的反馈电容和电阻；相关双采样器用于采样前置放大器在不同时刻输出的第一电压信号，并对其做减法运算，输出与反馈电容的电容变化量成比例的第二电压信号；模数转换器用于将相关双采样器输出的第二电压信号转化为数字电压信号输出；数字信号处理器用于对模数转换器输出的数字电压信号进行噪声压制处理；动态反馈单元用于脉冲信号至MEMS传感器，控制多个开关的通断，将上极板和下极板接通对应的电压信号。本发明提供的系统可以提高系统精度与降低功耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 传感器 系统 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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