[发明专利]一种管内气相沉积设备进气装置

摘要

本申请涉及一种管内气相沉积设备进气装置，包括一端连接气柜的进气管和一端连接卡盘的反应管，反应管的另一端套设在所述进气管的另一端外侧，所述进气管和反应管之间设有弹性密封件，弹性密封件外壁与所述反应管内壁间密封，所述弹性密封件内壁与所述进气管外壁间留有间隙，还包括真空密封组件，真空密封组件包括套设在所述弹性密封件外侧的真空密封件主体，真空密封件主体上开设有高纯气体进气口、抽真空进气口、抽真空排气口和空气进气口。本发明的管内气相沉积设备进气装置，通过在机床卡盘和气柜间增加一套密封装置，采用抽真空原理，利用气体实现密封，解决了旋转密封的问题，使用气体密封代替磁液密封或航空脂，成本低。