[发明专利]熔石英玻璃高损伤阈值超光滑表面的加工方法在审

专利信息
申请号: 202011137222.X 申请日: 2020-10-22
公开(公告)号: CN112266179A 公开(公告)日: 2021-01-26
发明(设计)人: 魏朝阳;曹珍;邵建达;程鑫;彭小聪;蒋志刚;赵元安;徐子媛;朱翔宇 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: C03C15/02 分类号: C03C15/02;C03C23/00;B24B1/00
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 201800 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种熔石英玻璃高损伤阈值超光滑表面的加工方法,包括:首先对熔石英玻璃切割成型和精密研磨、兆声化学刻蚀、超声清洗和利用连续CO2激光对熔石英元件进行熔融抛光。本发明可直接对精密研磨后的熔石英玻璃进行高效的加工,获得具有超光滑表面和高抗激光损伤性能的熔石英光学元件。
搜索关键词: 石英玻璃 损伤 阈值 光滑 表面 加工 方法
【主权项】:
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