[发明专利]熔石英玻璃高损伤阈值超光滑表面的加工方法在审
申请号: | 202011137222.X | 申请日: | 2020-10-22 |
公开(公告)号: | CN112266179A | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 魏朝阳;曹珍;邵建达;程鑫;彭小聪;蒋志刚;赵元安;徐子媛;朱翔宇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | C03C15/02 | 分类号: | C03C15/02;C03C23/00;B24B1/00 |
代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: |
一种熔石英玻璃高损伤阈值超光滑表面的加工方法,包括:首先对熔石英玻璃切割成型和精密研磨、兆声化学刻蚀、超声清洗和利用连续CO |
||
搜索关键词: | 石英玻璃 损伤 阈值 光滑 表面 加工 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所,未经中国科学院上海光学精密机械研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202011137222.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种基于物联网的家用消毒柜
- 下一篇:一种具有力学自锁功能的可伸长髓内针