[发明专利]一种芯片制造用可防静电的离子风机有效
| 申请号： | 202011137405.1 | 申请日： | 2020-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN112503008B | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 乔畅君;顾大元;韩玲玲;胡祖敏 | 申请（专利权）人： | 深圳市中明科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F04D25/08 | 分类号： | F04D25/08;F04D19/00;F04D29/70;F04D29/00;F04D29/64;B01D46/12;B01D46/00;H05F3/00 |
| 代理公司： | 北京博海嘉知识产权代理事务所(普通合伙) 16007 | 代理人： | 徐锦妙 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区福永街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种芯片制造用可防静电的离子风机，包括箱体、过滤箱、离子圈、支撑块、保护框、支撑腿、垫块、防护杆、无纺布和过滤板，所述箱体的右端铰接有过滤箱，所述箱体的左端的内部固定套接有离子圈，所述箱体的内部固定连接有支撑块，所述箱体的左端的外侧卡接有保护框，所述箱体的下端固定连接有支撑腿，所述过滤箱的下端固定连接有垫块，所述保护框的内部固定连接有防护杆，所述支撑腿的数量为四个，四个所述支撑腿在所述箱体的下端均匀分布，所述支撑腿是由硬质橡胶材料制成。本发明涉及一种芯片制造用可防静电的离子风机，具有可以过滤灰尘与便于清理的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 制造 用可防 静电 离子 风机 | ||
【主权项】：
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