[发明专利]一种硅基光波导和石墨烯光电混频器集成芯片与制备方法在审
| 申请号： | 202011141000.5 | 申请日： | 2020-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN112415653A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 顾晓文;曹正义;吴云;孔月婵 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/124;G02B6/138;G02B6/132 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 陈鹏 |
| 地址： | 210016 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅基光波导和石墨烯光电混频器集成芯片与制备方法，其结构包括垂直耦合光栅、硅基光波导器件、硅基光波导和石墨烯光电混频器；其中垂直耦合光栅为调制光信号输入口、光信号通过硅基光波导输入到硅基光波导器件进行处理，处理后输入到石墨烯光电混频器，石墨烯光电混频器对探测到的光信号进行光电转换，栅电极为微波本振信号输入口，微波本振信号与光电转换后的信号进行混频得到中频信号，中频信号由漏电极输出。本发明通过将石墨烯光电混频器与硅基光波导器件进行集成，可同时实现信号处理、探测和混频功能，且集成后混频效率更高；石墨烯光电混频器采用基于HSQ的钝化方法，工艺简单，一次成形，对石墨烯无损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅基光 波导 石墨 光电 混频器 集成 芯片 制备 方法 | ||
【主权项】：
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