[发明专利]一种晶圆光刻胶剥离设备

摘要

本发明公开了一种晶圆光刻胶剥离设备，其结构包括支撑台、箱门、控制面板、剥离主机、警示灯、离子箱，支撑台左侧上端固定安装有剥离主机，并且剥离主机前端与箱门相铰接，滑块在滑轨内部进行下滑，这时伸缩导管进行伸长，通过扭力轴给转动板提供一定的回转力，接着通过离子箱内部进行离子进行喷出，同时通过密封罩和内部的导向杆对离子进行导向注入，确保离子与晶圆的表面进行紧密接触，提高对晶圆表面的光刻胶进行剥离清除的效果，通过晶圆底部外侧与四个吸附机构进行抵触，根据晶圆自身直径的大小，对不同位置上的吸盘进行贴合，伸缩软管进行收缩，从而使得吸盘与晶圆的抵触面保持真空，提高对不同大小的晶圆底部进行牢固的安装。