[发明专利]压电元件、液体喷出头以及打印机有效
申请号: | 202011144790.2 | 申请日: | 2020-10-23 |
公开(公告)号: | CN112721450B | 公开(公告)日: | 2022-06-14 |
发明(设计)人: | 北田和也;塚原克智 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | B41J2/14 | 分类号: | B41J2/14;B41J2/01;H01L41/09;H01L41/047;H01L41/18 |
代理公司: | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 权太白 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种不使用镍酸镧作为取向控制层便能够控制包含钾、钠以及铌的压电体层的取向的压电元件、液体喷出头以及打印机。压电元件包括被设置在基体上的第一电极、被设置在所述第一电极上且包括包含钾、钠以及铌的钙钛矿结构的复合氧化物的压电体层、以及被设置在所述压电体层上的第二电极,所述第一电极是铂层,所述第一电极是(111)择优取向,所述第一电极的平均结晶粒径是200nm以上。 | ||
搜索关键词: | 压电 元件 液体 喷出 以及 打印机 | ||
【主权项】:
暂无信息
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