[发明专利]一种三轴集成MEMS矢量水听器及系统在审
| 申请号： | 202011146524.3 | 申请日： | 2020-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN112304414A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 朱晓枭;周瑜;魏晓村;谢奕;李成豪;冯杰;刘云飞 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第三研究所 |
| 主分类号： | G01H3/00 | 分类号： | G01H3/00 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 张彩珍 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种三轴集成MEMS矢量水听器及系统，包括MEMS声矢量传感器，其特征在于：还包括集成模块体，3个MEMS声矢量传感器分别设置于所述集成模块体的3个侧面，3个MEMS声矢量传感器的敏感方向相互垂直，呈三轴分布。本发明能够有效解决三轴集成时三轴性能不一致问题，提高检测准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 mems 矢量 水听器 系统 | ||
【主权项】：
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