[发明专利]换能装置、换能结构及其制造方法有效
| 申请号： | 202011148036.6 | 申请日： | 2020-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN112485775B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 邱品翔;黄泰翔;邱炜茹;陈政翰;李文渊 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01S7/521 | 分类号： | G01S7/521;G01S15/89;B06B1/02 |
| 代理公司： | 北京市立康律师事务所 11805 | 代理人： | 梁挥;孟超 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 换能结构包括基板、第一电极、无机层、第一绝缘层、第二绝缘部以及第二电极。第一电极配置于基板上。无机层位于第一电极上且具有下振荡部及位于下振荡部的两侧的孔洞。第一绝缘层包括上振荡部及第一绝缘部，上振荡部位于下振荡部之上，第一绝缘部位于第一电极上，第一电极、第一绝缘部及下振荡部共同形成一空腔。第二绝缘部分别位于第一绝缘部上，且通过孔洞接触第一绝缘部，第二绝缘部的材料和第一绝缘部的材料不同。第二电极位于上振荡部之上，空腔位于第一电极及第二电极之间。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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