[发明专利]一种压电微阀门的流量控制方法及压电微阀门装置有效
| 申请号： | 202011149625.6 | 申请日： | 2020-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN112228628B | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 匡双阳;宋培义;涂良成;李自学;汪典;张开;索晓晨 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | F16K99/00 | 分类号： | F16K99/00 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 尹丽媛;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于压电微阀门结构领域，具体公开一种压电微阀门的流量控制方法及压电微阀门装置，控制方法包括：实时检测位移检测电容的电容大小，位移检测电容设置于压电微阀门的阀门流道径向两侧；以电容大小作为反馈信号，确定阀门流道当前流阻大小，进而确定当前流量大小；根据当前流量大小，改变压电微阀门中压电陶瓷的输入电压来调节阀门流道的尺寸大小，以使得压电微阀门的流量大小控制在稳定水平。另外，阀门流道由阀门入口、出口以及硅簧片和硅阀底之间的空隙构成，可采用MEMS工艺将硅簧片和硅阀底边缘之间键合密封。本发明能够避免因压电陶瓷电滞回线特征的存在而导致升压和降压过程中压电陶瓷位移不一样，提高流量调节精度，降低流量噪声。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 阀门 流量 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
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