[发明专利]一种靶材的绑定方法在审
| 申请号： | 202011149681.X | 申请日： | 2020-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN112458413A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 房健威;余芳;童培云;钟小华;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明揭示了一种靶材的绑定方法，包括以下步骤：将旋转靶材和背衬管分别进行粗化处理；将旋转靶材内壁与背衬管外壁进行超声波涂铟；将背衬管竖直定位放置在旋转平台上，再将旋转靶材套设在背衬管外侧，使旋转靶材与背衬管之间形成一个焊缝空间；将旋转靶材与背衬管在指定时间内加热至指定温度后，向焊缝空间底部注入铟液，使铟液自下而上填充焊缝空间；完成注铟后，使旋转靶材与背衬管以0.5～2.5℃/min的冷却速率降至室温，即可得到完成绑定后的靶材。本发明采用自下而上填充的注铟方式，能充分排出焊缝空间中的空气，使冷却后的靶材与背衬管紧密结合，可以有效避免填充铟液中出现的气泡，能显著提供靶材的绑定率，改善靶材开裂及结瘤的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 绑定 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于先导薄膜材料（广东）有限公司，未经先导薄膜材料（广东）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011149681.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：智能语音设备的控制方法及系统
- 下一篇：海藻酸钠高效环保加工系统
- 同类专利
- 专利分类
