[发明专利]一种曝光机及其预上料方法有效
| 申请号： | 202011151878.7 | 申请日： | 2020-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN112415859B | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 倪亮;周超;陈国军;吴景舟;马迪 | 申请（专利权）人： | 江苏迪盛智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 苏州集律知识产权代理事务所(普通合伙) 32269 | 代理人： | 安纪平 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴中*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种曝光机及其预上料方法，所述曝光机包括预上料区和曝光区，预上料区设置于曝光区的一侧且与曝光机的上料机对接，预上料区在曝光区曝光第一被曝光物体的过程中预上料第二被曝光物体，并在曝光区的第一被曝光物体曝光完成后将第二被曝光物体运送到曝光区。本发明实现了曝光机上下料过程的全自动化，自动化程度高，生产效率高，且减少了生产时的人力成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 及其 预上料 方法 | ||
【主权项】：
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