[发明专利]等离子镀膜执行终端及等离子镀膜装置在审
| 申请号： | 202011156984.4 | 申请日： | 2020-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN112159960A | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 吕尚亿;丁雪苗;赵公魄;赵芝强 | 申请（专利权）人： | 珠海宝丰堂电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 别亮亮 |
| 地址： | 519040 广东省珠海市金湾*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种等离子镀膜执行终端及等离子镀膜装置，包括：等离子喷头，等离子喷头的内部形成有电离腔，等离子喷头设有进液通道；等离子电极，等离子电极设置于电离腔的内壁上，且等离子电极开设有汽化通道，汽化通道分别与进液通道和电离腔连通；以及等离子喷嘴，等离子喷嘴安装于等离子喷头上。开启等离子激励电源为等离子电极供电，等离子电极开始放电电离并产生高温(一般可达90摄氏度以上)，产生的高温能够将流经汽化通道的镀膜药液充分且完全汽化(镀膜药液的汽化温度一般在70到80摄氏度之间)，保证最终从等离子喷嘴喷射出的等离子体中不会夹杂镀膜药液，从而确保了对镀膜对象的镀膜质量，以及产品的最终成品品质高。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 镀膜 执行 终端 装置 | ||
【主权项】：
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