[发明专利]一种反射式光学相控阵芯片及制造方法及激光扫描装置在审
| 申请号： | 202011160079.6 | 申请日： | 2020-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN112490671A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 关健;徐松;闫敏 | 申请（专利权）人： | 深圳奥锐达科技有限公司 |
| 主分类号： | H01Q3/34 | 分类号： | H01Q3/34;H01Q21/00;G02B27/00;H01Q1/38 |
| 代理公司： | 深圳汉世知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44578 | 代理人： | 田志立 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种反射式光学相控阵芯片及制造方法及激光扫描装置，包括：基底、高反层、压电层、天线阵列以及换能单元；其中，所述高反层设置在所述基底与所述压电层之间；所述天线阵列包括多个纳米天线元件，所述多个纳米天线元件以周期性图案布置在所述压电层上；所述纳米天线元件的高度可调节，以用于改变所述天线阵列的相位；所述换能单元设置在所述压电层上，且布置在所述天线阵列的周围。本发明相控阵芯片设置压电层，在压电层布置多个纳米天线元件形成的天线阵列，通过对纳米天线元件的高度调节，以调节天线阵列的出射相位，当光束直接入射到天线阵列上时，即可对光束进行控制，结构简单、灵活性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反射 光学 相控阵 芯片 制造 方法 激光 扫描 装置 | ||
【主权项】：
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