[发明专利]一种耐腐蚀涂层的制备方法在审
| 申请号： | 202011160126.7 | 申请日： | 2020-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN112501539A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 徐俊阳;李加 | 申请（专利权）人： | 沈阳富创精密设备股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C4/134 | 分类号： | C23C4/134;C23C4/04 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 孙奇 |
| 地址： | 110000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种耐腐蚀涂层的制备方法，该耐腐蚀涂层主要应用于半导体领域。该方法主要包括以下步骤：(1)将零件需要喷涂的地方进行前处理；(2)将喷涂颗粒溶于液体当中，制备成悬浮液；(3)利用大气等离子喷涂技术喷涂所制备的悬浮液，在零件表面形成一层具有耐腐蚀性的涂层。采用该方法制备的耐腐蚀涂层，首先保留了细小颗粒的优异性能，其次，使得所获得的涂层的孔隙率较低，涂层结合力好，具有较高的耐腐蚀作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 腐蚀 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
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