[发明专利]一种表面吸附锂离子的范德华异质结光电二极管器件结构有效

专利信息
申请号: 202011162691.7 申请日: 2020-10-27
公开(公告)号: CN112349795B 公开(公告)日: 2022-03-25
发明(设计)人: 贺园园;程娜;赵健伟 申请(专利权)人: 嘉兴学院
主分类号: H01L31/0264 分类号: H01L31/0264;H01L31/0352;H01L31/109
代理公司: 江苏圣典律师事务所 32237 代理人: 王慧颖
地址: 314031 浙江省嘉兴市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种表面吸附锂离子的范德华异质结光电二极管器件结构,属于半导体技术领域,包括:源极:空穴注入的单层硼烯,漏极:电子注入的单层C4N4,光敏结构:包括本征单层硼烯与本征单层C4N4垂直堆叠形成的范德华异质结;以及分别与本征单层硼烯和C4N4连接的源漏极;其中硼烯和C4N4的能带结构呈现交错方式的能带重排。其中,在硼烯的上表面设置以HfO2为材质的介电层和上金属电极作为顶栅,在C4N4的下表面设置以BN为材质的介电层和下金属电极作为底栅,形成双栅极结构。分别在上下表面的栅极上设置门电压,通过双门压调控发光二极管电子传输的非对称性;本发明的结构能够解决现有技术中无法有效调控范德华异质结层间肖特基势垒的问题。
搜索关键词: 一种 表面 吸附 锂离子 范德华异质结 光电二极管 器件 结构
【主权项】:
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