[发明专利]一种新型单晶炉热屏升降装置在审
| 申请号： | 202011163840.1 | 申请日： | 2020-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN112160019A | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 高德东;王珊;张西亚;高俊伟;宋生宏 | 申请（专利权）人： | 青海大学;阳光能源（青海）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 李树志;李雪慧 |
| 地址： | 810000 *** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本发明涉及单晶硅生产设备技术领域，具体涉及一种新型单晶炉热屏升降装置。包括热屏、升降装置、动力装置和保护装置，所述升降装置通过滑块与热屏连接，升降装置的外围设置有保护装置，包括冷却管、石墨隔热毡和密封波纹管；所述升降装置的滚珠丝杠副外侧设置有一层铜板，铜板外设置有冷却管，所述冷却管外围包括设置石墨隔热毡；所述密封波纹管设置在动力装置与上轴承之间的丝杠上。本装置采用滚珠丝杠螺母通过滑块直接与热屏相连接的方式，增强了热屏升降的平稳性能的同时升降结构简化，使用方便，不仅摩擦损失小、传动效率高、省电，而且可以实现高精度的高速进给和微进给。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 单晶炉热屏 升降 装置 | ||
【主权项】：
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