[发明专利]一种石墨烯修饰的长程表面等离子体共振传感器芯片有效

专利信息
申请号: 202011165140.6 申请日: 2020-10-27
公开(公告)号: CN112345494B 公开(公告)日: 2022-06-03
发明(设计)人: 王书涛;刘娜;程琪;逄博 申请(专利权)人: 燕山大学
主分类号: G01N21/41 分类号: G01N21/41
代理公司: 石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙) 13123 代理人: 张明月
地址: 066004 河北*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明涉及一种石墨烯修饰的长程表面等离子体共振传感器芯片,属于测量技术领域,更具体地涉及传感器芯片技术领域,包括传感器芯片基体,所述传感器芯片基体为高折射率棱镜,所述传感器芯片基体的上方依次镀有介质Cytop层和半导体TDBC膜,所述半导体TDBC膜上涂有石墨烯层。本发明的灵敏度最大可为3243 RIU‑1,使传感器实现了对物质分子快速、高灵敏度、稳定的响应信号特性。
搜索关键词: 一种 石墨 修饰 长程 表面 等离子体 共振 传感器 芯片
【主权项】:
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