[发明专利]一种石墨烯修饰的长程表面等离子体共振传感器芯片有效
申请号: | 202011165140.6 | 申请日: | 2020-10-27 |
公开(公告)号: | CN112345494B | 公开(公告)日: | 2022-06-03 |
发明(设计)人: | 王书涛;刘娜;程琪;逄博 | 申请(专利权)人: | 燕山大学 |
主分类号: | G01N21/41 | 分类号: | G01N21/41 |
代理公司: | 石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙) 13123 | 代理人: | 张明月 |
地址: | 066004 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: |
本发明涉及一种石墨烯修饰的长程表面等离子体共振传感器芯片,属于测量技术领域,更具体地涉及传感器芯片技术领域,包括传感器芯片基体,所述传感器芯片基体为高折射率棱镜,所述传感器芯片基体的上方依次镀有介质Cytop层和半导体TDBC膜,所述半导体TDBC膜上涂有石墨烯层。本发明的灵敏度最大可为3243 RIU |
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搜索关键词: | 一种 石墨 修饰 长程 表面 等离子体 共振 传感器 芯片 | ||
【主权项】:
暂无信息
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