[发明专利]基于片上光开关和延迟线阵列的傅里叶变换光谱仪有效

专利信息
申请号: 202011166605.X 申请日: 2020-10-27
公开(公告)号: CN112326027B 公开(公告)日: 2023-09-22
发明(设计)人: 路侑锡;金里;蒋平;冯俊波;郭进;韩建忠;曹睿;吴月;刘其鑫 申请(专利权)人: 联合微电子中心有限责任公司
主分类号: G01J3/08 分类号: G01J3/08;G01N21/01
代理公司: 北京北汇律师事务所 11711 代理人: 于倩
地址: 401332 重庆市*** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 发明公开了一种基于片上光开关和延迟线阵列的傅里叶变换光谱仪,包括光学分束器、马赫‑增德尔干涉仪、光学耦合器和光电探测器,光学分束器用于将输入光信号分配为第一光信号和第二光信号;马赫‑增德尔干涉仪包括第一臂、第二臂和光开关阵列,第一臂用于传送第一光信号,第二臂用于传送第二光信号,光开关阵列级联在第一臂和第二臂中的至少一个臂上,用于形成延迟光程差,实现从0、ΔL、2ΔL、3ΔL、到(2N‑1)ΔL的光延迟控制;光学耦合器用于将第一臂传送的第一光信号和第二臂传送的第二光信号组合成干涉信号,光电探测器用于基于干涉信号的光学功率提供输出信号。本发明能实现大范围、高精度的傅里叶光谱移相控制,提高集成度和精度,减少芯片占用面积。
搜索关键词: 基于 上光 开关 延迟线 阵列 傅里叶变换 光谱仪
【主权项】:
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