[发明专利]一种材料放气率测试系统及其测试方法在审
| 申请号： | 202011169846.X | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN112304804A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 卢耀文;杨传森;闫睿;余荣;王汐月;董云宁;徐宇杰;方昭阳 | 申请（专利权）人： | 北京东方计量测试研究所 |
| 主分类号： | G01N7/14 | 分类号： | G01N7/14 |
| 代理公司： | 北京善任知识产权代理有限公司 11650 | 代理人： | 王大方 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种材料放气率测试系统及其测试方法，包含第一真空室、第二真空室、第三真空室、第一小孔元件、第二小孔元件、第一真空计、第二真空计、第三真空计、机械泵、第一分子泵、第二分子泵、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门，第七真空阀门、第八真空阀门、第九真空阀门、第十真空阀门、第十一真空阀门、一个气体流量控制器、一个减压阀门、离子泵、一个标准气瓶和一个恒温箱，一方面减小了两次分别测量过程中由于暴露大气对装置本底放气影响；另一方面可以实现样品和本底同时测量，将原有的测量过程缩短了一半时间，提高了测量效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 材料 放气 测试 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
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