[发明专利]一种耦合共振型声表面波微流控芯片及其制作方法

摘要

本发明公开了一种耦合共振型声表面波微流控芯片及其制作方法，属于微流控芯片技术领域。本发明的芯片包括压电基底、叉指换能器和腔体顶盖，压电基底与腔体顶盖之间设有侧壁，压电基底、腔体顶盖和侧壁围合形成流体腔道。本发明的方法为：根据压电基底选取腔体顶盖的材料，再根据工作频率确定腔体顶盖的厚度并制作腔体顶盖；根据压电基底和流体腔道内的流体计算流体腔道的横截面宽度和横截面高度，并根据流体腔道内的流体和压电基底选取侧壁的材料并制作侧壁；再根据压电基底、腔体顶盖和侧壁制作得到芯片。本发明的目的在于克服在现有技术中，声表面波微流控器件能量较低的不足，本发明可以提高声表面波微流控芯片的能量效率。