[发明专利]静电感度仪放电波形的测试校准系统及方法在审

专利信息
申请号: 202011171873.0 申请日: 2020-10-28
公开(公告)号: CN112255581A 公开(公告)日: 2021-01-22
发明(设计)人: 张宇;袁亚飞;刘民;季启政;梅高峰;崔振刚;周黎;刘英乾 申请(专利权)人: 北京东方计量测试研究所
主分类号: G01R35/00 分类号: G01R35/00
代理公司: 北京善任知识产权代理有限公司 11650 代理人: 张振伟
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本公开是关于一种静电感度仪放电波形的测试校准系统及方法。该静电感度仪放电波形的测试校准系统,包括探测电极,用于接收静电感度仪的静电放电电流信号;屏蔽支架,探测电极固定在屏蔽支架的顶端,其中:屏蔽支架内部设置有信号传输线,信号传输线的第一端与电极电连接,信号传输线的第二端透过屏蔽支架与信号处理单元电连接;信号处理单元,设置在屏蔽支架外围,用于记录静电放电电流信号的波形,并记录的信号波形与标准波形进行比对,得到比对结果;底座,与屏蔽支架的底端固定连接,从而获得静电感度仪放电的波形特性,进而得到静电感度仪放电能量的集中程度,为有效分析静电感度仪是否具有击发受测样品的能力,提供可靠的判断依据。
搜索关键词: 静电 感度仪 放电 波形 测试 校准 系统 方法
【主权项】:
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