[发明专利]正型感光性树脂组合物、固化膜及其图案加工方法在审
| 申请号： | 202011171907.6 | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN112180684A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 周小明;肖桂林;朱双全 | 申请（专利权）人： | 武汉柔显科技股份有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004;G03F7/32;G03F7/40 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430057 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供能够在曝光后通过碱显影且曝光敏感度良好、图案分辨率高的正型感光性树脂组合物、由该正型感光性树脂组合物固化后得到的固化膜和该固化膜的图案加工方法。本发明的正型感光性树脂组合物，其含有(a)碱溶性树脂100重量份、(b)光产酸剂10‑30重量份、(c)热交联剂20‑60重量份和(d)有机溶剂，上述(a)碱溶性树脂的主链结构中包含具有结构式(a1)的结构单元和具有结构式(a2)的结构单元，结构式(a2)的结构单元的一部分为结构式(a3)的结构单元与二胺的反应的产物。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 固化 及其 图案 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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