[发明专利]一种从半导体工业废液中回收二甲基亚砜的方法有效
| 申请号： | 202011172618.8 | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN112142630B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 仲超;宋太沧;倪建杰;施健;唐斌 | 申请（专利权）人： | 雅邦绿色过程与新材料研究院南京有限公司 |
| 主分类号： | C07C315/06 | 分类号： | C07C315/06;C07C317/04 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 朱欣欣 |
| 地址： | 210047 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种从半导体工业废液中回收二甲基亚砜的方法，属于废液回收技术领域；二甲基亚砜废液来自半导体工业，首先将二甲基亚砜废液送入刮板膜蒸发器进行减压蒸发，除去颗粒物、光刻胶、碱；然后，再加入水进行混合后，送入间歇精馏塔釜，水与丙二醇甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯共沸物，精塔顶首先得到丙二醇甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯和水的混合物；再分别得到水和二甲基亚砜混合的过渡馏分、二甲基亚砜成品；本发明利用绿色、无害的水与杂质共沸的特点，去除高附加值废液中的多种杂质，从而达到废液资源综合利用的目的，具有较高的经济效益以及环保价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 工业 废液 回收 二甲基亚砜 方法 | ||
【主权项】：
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