[发明专利]一种流量传感器芯片的制造方法

摘要

本发明提供的一种流量传感器芯片的制造方法，包括步骤：基底，采用光刻法对铺设于基底表面的光刻胶进行显影形成光刻区域，再利用深反应离子刻蚀法刻蚀光刻区域至基底内部，在基底表面形成有至少一个用于制作空腔的槽体；在基底表面和槽体内壁形成保护层；利用聚酰亚胺填充槽体，且所填充高度大于等于槽体的高度；采用干法回刻法去除保护层表面的聚酰亚胺，使聚酰亚胺的表面与保护层表面处于同一水平面；采用等离子体增强化学气相淀积法对聚酰亚胺表面和保护层表面沉淀形成有隔离层；通过对聚酰亚胺加热，使聚酰亚胺固化收缩与隔离层之间形成空腔。本发明具有良好的结构稳定性，适合大批量生产的效果。