[发明专利]一种光源掩膜协同优化半隐式离散化的窄带水平集计算方法有效
| 申请号： | 202011180414.9 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN112363371B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 沈逸江 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 孔祥健 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光源掩膜协同优化半隐式离散化的窄带水平集计算方法，以离散化的电路板图变量和离散化的光源变量作为观测矩阵，并将对应的成像矩阵与目标图案的离散化矩阵相等作为约束条件，构造出包含距离正则化水平集项和约束条件的拉格朗日方程，得到时变的差分方程；然后分别隐式和显式地离散化其中的扩散项和非扩散项，使用加性算子分裂在水平和竖直的两个方向上构造三对角线性方程组，并使用托马斯方法进行高效的求解。本发明在降低优化维度的同时能提高优化收敛效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光源 协同 优化 半隐式 离散 窄带 水平 计算方法 | ||
【主权项】：
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