[发明专利]一种电子商务控制芯片用晶圆涂膜检测设备在审
申请号: | 202011181666.3 | 申请日: | 2020-10-29 |
公开(公告)号: | CN112275515A | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
发明(设计)人: | 潘发 | 申请(专利权)人: | 义乌春绘贸易有限责任公司 |
主分类号: | B05B16/20 | 分类号: | B05B16/20;B05B13/02;B05B12/12;B05D3/04;H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 322000 浙江省金华市义乌市北*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及电子商务晶圆涂膜技术领域,且公开了一种电子商务控制芯片用晶圆涂膜检测设备,包括传送带,所述传送带的底部活动连接有弹性板,弹性板的一侧活动连接有支撑杆,弹性板的内部且位于传送带的底部活动连接有弧形罩,弧形罩的内部活动有扩展架,扩展架的表面活动连接有储气囊,扩展架的左右两端均活动连接有滚轮,传送带的底部且位于扩展架的表面固定连接有匀化层,气流槽的左右两侧均固定连接有储液管。从储气囊中的流出的气体部分从气流槽流出,另一部分会流向滑板的表面,故滑板会被吹动将储液管中的环氧树脂挤压从导向嘴喷出,由于滑板挤压环氧树脂的驱动力是晶圆的重量,故从而达到了涂膜的量与晶圆的重量相适配的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 电子商务 控制 芯片 用晶圆涂膜 检测 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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